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氟硅橡膠的高溫溶解與硅橡膠一樣，即:主鏈空氣氧化、主鏈斷裂、主鏈分解反應和造成各種各樣復合型反映。因為溶解物質也會造成主鏈斷裂，因此耐溫性一般比硅橡膠要差一些，在200℃的溫度下已剛開始空氣氧化脆化。但根據加上鐵、鈦、希土類金屬氧化物等小量的無鹵阻燃劑便可使其得到明顯的改進，即便在250℃高溫下也具備充足的耐溫性。溫度對氟硅橡膠危害比硅橡膠大，但比氟膠小。海外還科學研究了氟硅橡膠在150℃×2000h、175℃×5000h、200℃×4000h標準下的使用期，其結果是僅次羥基乙烯基硅橡膠。

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